小型等离子清洗仪

产品型号：小型等离子清洗机系列
性能特点：石英玻璃腔体，PLC+触摸屏控制
产品用途：金属油污去除、半导体、塑料高分子等材料清洗，活化，蚀刻和改性

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产品介绍
产品参数

等离子发生器	功率	0-300W
	频率	13.56MHz/40KHz
	特性阻抗	自动匹配
真空反应腔室	腔体材质	石英玻璃/不锈钢
	腔体容积	2L/5L/10L
	真空度	1-30Pa
气路控制	气体通道	两路
气路控制	气体流量控制器	浮子针阀流量控制器
整机参数	重量	65KG
整机参数	外形尺寸	650mmx550x600mm

纳恩科技小型等离子清洗仪系列，等离子激发频率13.56MHz和40KHz可选，石英玻璃腔体，不锈钢腔体可选，PLC+触摸屏控制。小型等离子清洗仪适用于各种基材类型对金属、半导体、氧化物、有机物和大多数高分子材料也能进行很好的处理并可实现复杂结构的清洗。

小型等离子清洗仪工作原理：

小型等离子清洗仪主要的组成部分就是腔体，真空泵和制造等离子的低频电源.其主要工作步骤如下1.腔体抽真空；2.通入处理气体并开启等离子；3.通风和取出处理物品。一开始，真空泵使腔体中产生低压。大概在压力为0.1毫巴时，往腔体中通入处理气体（例如氧气）。等离子工作压力介于0.1至1.0毫巴之间。一旦达到工作压力，开启电源后，腔体中的处理气体将会离子化。处理物体处于等离子中。等离子清洗仪不断接收新鲜的气体而排出被污染的气体。

等离子能以两种形式起作用

移除有机层：
1. 有机层会与氧气或空气产生化学反应
2. 通过低压和对表面加热而使污染物蒸发
还原氧化物：
1.金属氧化物与处理气体产生化学反应。纯氢气或者氩气和氮气的混合都可以用作处理气体。2.进行表面的活化。

小型等离子清洗仪常见应用：

PDMS表面进行亲水化处理，经过等离子清洗仪处理后键合，形成微流控芯片；
应用等离子清洗机处理木塑基材提高表面活性水披覆转印后从而提高产品表面的附着力;
利用光固化和微负型技术制备硅橡胶模具在硅橡胶模具使用前进行等离子清洗可以改善其亲水性；
塑料封装，键合前后增加等离子清洗工序，可以提高键合强度和模塑料与框架/基板界面结合强度；
对ITO表面进行等离子体清洗可以降低成核势垒并激活ITO表面上的悬空键；
等离子清洗仪可以有效清除键合区的污染物提高键合区表面化学能及浸润性因此在引线键合前进行等离子清洗可以大大降低键合的失效率提高产品的可靠性。

小型等离子清洗仪被广泛应用于电子、生物医药、珠宝制作、纺织等众多行业由于各个行业的特殊性需要针对行业需要采用不同的设备及工艺。

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小型等离子清洗仪

小型等离子清洗仪工作原理：

小型等离子清洗仪常见应用：

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