13L射频等离子清洗机NE-PE13FH

产品型号：NE-PE13FH
性能特点：低温，干式，环保
产品用途：材料表面清洗，活化，改性，刻蚀

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产品介绍
产品参数

NE-PE13FH主要有等离子体清洗、材料表面活化，表面微刻蚀及改进材料表面的附着力的功能，广泛应用于半导体制造、微电子封装和生命科学设备等方面。它由13.56MHz射频电源发生器、电子控制系统、自动匹配系统和等离子体放电真空腔体四部分构成。外接真空泵系统，配置两路工艺气体通道，可通入不同气体，例如氩气、氧气、氮气、及氢气等。

等离子体处理的原理是在真空状态下给气体施加电场，使气体从气态转变为等离子体状态(包括电子、离子、光子和各类自由基等活性粒子),利用等离子体中的大量活性粒子轰击材料表面，将能量传递给材料的表层分子，使材料发生热蚀、交联、降解和氧化反应并在表面产生大量自由基或引进某些极性基团，从而优化材料表面性能。

产品特点：

符合人体功能学的60度倾角操作界面，操作更方便；
供气系统采用高精度MFC质量流量计来精确调节工作气体的流量；
自动阻抗匹配，使得高频发生器和负载阻抗能够匹配以实现最大功率输出；
其外观美学设计，结构紧凑，操作简单快捷用户只需通过控制面板设置相关参数，即可启动处理过程。此外，设备还具备完善的故障诊断和报警功能，便于用户及时维护和保养；
具备精确的控制系统，能够准确调节等离子体处理参数，如流量、功率、处理时间等。这种精确控制确保了处理效果的稳定性和一致性，满足了不同材料和工艺的需求。

型号	NE-PE13FH
功率	0-300W可调
等离子发生器	13.56 MHz，自动阻抗匹配
腔体材质	316 不锈钢
腔体容积	13.5L
腔体尺寸	240(L)280(D)200(H)mm
有效处理面积	210（L）×204（D）mm（8寸晶圆及以下）
处理层数	3层
气体流量控制器	MFC质量流量计， 0-300ML
气路数量	2路（可增加）
极限真空度	1PA
真空测定系统	皮拉尼真空硅管测量范围：1.0×10⁵ ～1×10 ^-1 Pa
真空泵	干泵/油泵（可选）
控制系统	PLC+触摸屏
电源供应	220V
外形尺寸	553mm(L)×553mm(W) ×732 mm(H)

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13L射频等离子清洗机NE-PE13FH

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