15L石英腔体等离子清洗机NE-Q15

产品型号：NE-Q15
性能特点：高洁净石英玻璃腔室，无电极污染
产品用途：晶圆，硅片清洗，去残胶，活化

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产品介绍
产品参数

NE-Q15等离子清洗机主要由真空系统以及等离子体发生装置组成。将产品放入石英玻璃腔体后，进行抽真空处理，待到达腔体内额定真空度后，打开等离子体发生装置进行等离子体清洗处理一段时间即可。可用于各类材料（塑料、金属或玻璃等）表面活化处理加工，并为后续的黏合、喷漆或者印刷做准备，提高印刷前材料表面的附着力，使其后喷涂的涂料更有效的浸润材料表面。等离子体对材料表面进行预处理可以显著提高后续加工步骤的成功率以及加工质量。

产品特点：

•设备采用感应耦合等离子体（ICP）发生方式，具有无电极烧蚀污染、等离子体环境纯净，同时具有更高的功率密等特点，适用于洁净度要求高的产品；
•等离子发生器采用13.56MHz射频发生器，自动阻抗匹配调谐；
•触摸屏用户界面+PLC控制，可储存多条工艺程序，全自动运行；
•配备两路气路通道，气体流量可调，无需再搭配气体混合仪；
•整体外观处理工艺、机架门板烤漆、耐用、防刮；
•铝合金自动门：氧化处理、喷砂、光洁高档；
•电路设计电流过载保护，模块式电路、维修方便快捷；
•手动、自动、真空保压均可操作，不倒翁橡胶脚杯，自动平衡机器、减震。

产品用途：

清洁材料表面
等离子体可以破坏重有机分子中的有机化学键，并且产生容易挥发的分子，使表面的有机污染从材料表面挥发。其次，等离子体中的活性粒子可以氧化有机污染物并使其分解形成二氧化碳和水蒸气，在材料表面不会留下任何残留。

形成新的化学官能团并提高材料的润湿性
等离子体处理会在清洁后的材料表面接枝上大量极性含氧基团，从而显著增加材料表面的表面能以及润湿性。赋予材料表面一定润湿性能促进了它们在各个领域的应用。

使材料表面微观上粗糙化（表面刻蚀）
等离子体处理材料表面时，高能量的离子或自由电子组成的物质对材料界面进行撞击，产生刻蚀作用后，材料比表面积增大

型号	NE-Q15等离子清洗机
功率	0-500W连续可调
频率	13.56 MHz 固态射频电源
匹配器	数字全自动阻抗匹配
腔体材质	石英耐热玻璃
腔体容积	15L
腔体直径（圆形）	Φ250×300（D）mm
气体流量	2路（氧气、氧气、氮气、氢气等）
极限真空度	1PA
控制系统	PLC+触摸屏
电源供应	220V
重量	70KG
外形尺寸	755mm(L)×825mm(W) ×1550 mm(H)

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