CCP电容耦合式等离子清洗机和ICP电感耦合等离子清洗机
文章出处：等离子清洗机厂家 | 深圳纳恩科技有限公司| 发表时间：2024-03-28
根据耦合方式分类，等离子清洗机大致可以分为两种，一种是CCP电容耦合等离子清洗机另一种是ICP电感耦合等离子清洗机。电容耦合大多采用内置的平板电极模式，放电时在两极板上加射频电源，在两极板间气体激发产生等离子体。与之不同的是电感耦合大部分利用外电极放电，其原理是应用电磁感应将感应线圈缠绕在放电腔体外部激发出二次电场，从而激发腔体内的气体产生等离子体。这两种耦合方式各有优劣。
电容耦合式等离子清洗机 Capacitively Coupled Plasma
电容耦合式等离子体是发展最早、应用最广泛的等离子产生方式，大量应用于清洗、刻蚀和表面改性。电容耦合式等离子体又称电场耦合式等离子体，其产生机理是在低气压条件下，加在两极板之间的高频电场电离气体，产生稳定的等离子体。由于电容极板位于真空室内，带电粒子在电场作用下以较高的动能撞击极板，非常容易发生极板溅射，限制了其在高洁净、无污染环境中的应用。
电容耦合式等离子清洗机它的优点是：在电极之间获得大面积较均匀的电磁场，产生均匀性较好的等离子体，可应用于大面积的清洗工艺。
电感耦合式等离子清洗机 Inductively Coupled Plasma
电感耦合式等离子清洗机是等离子研究后期出现的一种新型的方式，其机理是感应线圈中的交流电场，在反应室内耦合感应产生二次电场，在低气压状态下激发产生等离子体。电感耦合式等离子体具有离子能量损失小、效率高、密度高等优点，是极具发展潜力的等离子体。电感耦合式等离子体经多年研究，已在光谱分析和微电子刻蚀中成熟应用，电感耦合式等离子体的电子回旋结构与微波等离子系统非常相似，可以用于高端表面处理，例如刻蚀、溅射等，与微波等离子相比，电感耦合式等离子体结构简单，成本低，因此研究广泛开展。电感耦合式等离子体很容易实现外电极结构，这种结构应用于等离子清洗，可彻底解决了电容耦合式清洗设备的极板溅射问题。
电感耦合式等离子清洗机的优势在于反应室内无电极，无电极污染，且离子能量高，效率大大提升，同时离子密度也比电容耦合式提高1～2个数量级。电感耦合式等离子体离子的运动加速方向与被清洗件的切线方向平行，因此不会垂直轰击被清洗件，对元件无损伤。
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