大气压介质阻挡放电等离子表面处理原理

大气压平行板介质阻挡放电等离子体应用于材料表面处理时，等离子体放电空间中多数电子和离子的电子伏特在一到两位数之间，这些粒子作用于材料表面时会打开材料表面原有的分子化学键，形成新的化学键，然后与材料表面附近的自由基团发生化学反应，形成新的化学结构。在这些化学反应发生的同时，也会改变材料表面的物理结构，比如材料表面粗糙度提升。