从原理上来理解等离子清洗工艺参数该如何调节
文章出处：等离子清洗机厂家 | 深圳纳恩科技有限公司| 发表时间：2023-09-15
真空等离子清洗机工作原理是在低真空反应腔室里环境下，施加射频能量加速空间电子或带电离子，由于空气稀薄，这些电子和离子的行程变长，通过加速可以获得足够高能量，与腔体中的分子或原子发生碰撞，结果使分子和原子中又激发出电子，受到碰撞的分子或原子又处于激发状态或离子状态。当这种状态达到一定程度时，能看见腔体中发出辉光现象，腔体物质处于等离子体状态。
理解等离子清洗原理对怎么调节工艺参数有很大帮助
等离子体清洗过程包含物理作用和化学反应两种清洗过程。对氧气参与的等离子清洗，其化学反应主要是有机物与氧自由基发生反应生成较小的气体分子被泵抽走。其反应式：
CxHy+O2+e-→CO(气)+CO2(气)+H2O(气)
主要优点是清洗速度快，能有效去除有机污染物。一般清洗是以物理过程为主，高能量的粒子轰击基板表面，其作用就如溅射，被溅射出来表面粘附物小分子同样会被泵抽走，轰击也会使有机物分解成小分子而被泵抽走。等离子作用可以深入物体的微细孔眼和凹陷的内部并完成清洗任务，其效果相当好。
目前用于等离子清洗的工艺气体主要有Ar气和O2气。Ar气原子较大，在电场中可以获得很大的动能，其轰击能量几乎可以去除表面任何污渍层，因此以物理作用为主的等离子清洗因选择氩气。考虑快速去除污染物而对基板不会造成氧化作用，则选择氧气为工艺气体。
等离子清洗工艺要根据选择的工艺气体来设置，对物理清洗希望粒子平均自由程长，而获得更大的动能，从而有更好的撞击效果，因此应设置较低的压力（主要是设置工艺气体流量来实现压力变化）。而对以化学清洗为主模式希望有更多的反应粒子数，因设置较高的压力（有更多的反应气体）。
原则上等离子功率增加可以增加等离子清洗机真空腔体内离子密度和离子能量，从而增加清洁速度和清洁强度。等离子清洗时间以清洗干净、达到使用要求为准，原则上增加清洗时间，清洗效果会变好，但是过长的清洗时间，会对材料表面造成损伤，过长或者过短的清洗时间都有可能达不到好的清洗效果。因此需要不断摸索清洗时间、功率、压力以及气体种类和配比的关系选择一个最佳的等离子清洗工艺参数。
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