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什么是等离子清洗机?清洗原理是什么?

文章出处:等离子清洗机厂家 | 深圳纳恩科技有限公司| 发表时间:2023-08-12
什么是等离子清洗机?等离子清洗机是一种高效、环保的清洗设备。简单点来说,等离子清洗机,是产生等离子体的发生装置,通过等离子清洗机产生的高能等离子体,可以用来对材料表面进行清洁,活化改性,刻蚀等作用,从而实现对材料表面的清洗,或者提高表面的浸润性能等。

等离子清洗机中的等离子体是如何产生的

等离子清洗机大都通过气体放电产生等离子体,气体放电是指施加外电场使电子运动碰撞气体原子或分子,引起气体分子、原子电离,产生新的电子和激发态活性粒子的现象。

拿常见的真空等离子清洗机举例:
真空等离子清洗机
真空等离子清洗机

 
真空等离子清洗机,大都采用射频容性耦合等离子体发生方式:即为两极板间充入工作气体时,外施射频激励,放电电路接入特定的匹配网络后,对一组电极施加射频电压,从而产生交变电场,电极间的气体受到交变电场的作用,起辉后产生无序的高能量的等离子体。
等离子清洗机工作原理图
真空等离子清洗机工作原理图

等离子清洗机的清洗原理

a) 反应性气体等离子清洗
在真空状态下,高频电源的高压交变电场将氧气、氢气等反应性气体电离成高能量和高反应性的等离子气体。这些高活性基团被吸附在工件表面,与表面污染物发生化学反应,生产其他气体并脱离工件表面,随排气系统排出。O2适合对助焊剂等有机类污染物进行处理,H2适合处理金属氧化物。
O2→2O*+2e
3nO*+{CH2}n→nCO2+nH2O

b) 物理性气体等离子清洗
在真空状态下,高频电源的高压交变电场将氩气等惰性气体电离成高能量的等离子气体。活性粒子在偏压作用下被加速产生动能,设备射频系统的下电极接地,确保所有的高能电子不能穿越电极接触到工件表面,避免对敏感器件造成电子损伤。只有中性原子团下电极高速轰击工件表面,使污染物汽化,与工件剥离,随排气系统排出腔体外,产生清洗效果。由于是靠纯物理撞击方式剥离污染物,此方法适合对各类污染物进行去除。

以上就是国产等离子清洗机厂家纳恩科技关于什么是等离子清洗机的简单介绍,等离子清洗机是使用电能催化气体进行物理化学反应的设备,是一种干法清洗设备,它排除了所有湿法清洗带来的危险,且无废液产生。等离子高能离子的方向性不强,可以深入到物体微小孔和不规则图形结构内部进行清洗,受工件形状的影响较小。

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