单频容性耦合等离子体源

频容性耦合放电的实验装置如图1.1所示，通常由一对平行的金属电极和一个真空腔体组成，其中一个电极接地，在另一个电极上施加射频偏压。两侧电极前的鞘层内部存在准静电场，腔体内的初始电子在射频电场的作用下加速并获得能量，轰击气体使其电离，产生更多的电子、离子以及活性基团粒子，从而形成动态平衡的低温等离子体。