等离子清洗机不同类型机械真空泵原理及特点

文章出处：等离子清洗机厂家 | 深圳纳恩科技有限公司| 发表时间：2023-04-12

等离子清洗机分为真空腔体、机械真空泵和控制器三个部分，主要是通过等离子体作用于材料表面，使其产生亲疏水，粘接等性质的变化。

机械真空泵的分类

真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为:利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展,真空泵的种类已发展了很多种,其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。极限压力(极限真空)从粗真空到10^-12pa以上的超高真空范围。

由于等离子清洗机真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽,因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围,只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求,使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种等离子清洗机真空工艺过程的需要,有时将各种真空泵按其性能要求组合起来,以机组型式应用。

凡是利用机械运动(转动或滑动)以获得真空的泵,称为机械真空泵。机械真空泵按其工作原理及结构特点分述如下:

变容真空泵

它是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。这种泵分为往复式及旋转式两种。

（1）往复式真空泵
利用泵腔内活塞往复运动,将气体吸入、压缩并排出。又称为活塞式真空泵。

（2）旋转式真空泵
利用泵腔内转子部件的旋转运动将气体吸入、压缩并排出。它大致有如下几种分类:
1）油封式真空泵
它是利用真空泵油密封泵内各运动部件之间的间隙,减少泵内有害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置.它主要包括旋片式真空泵、定片式真空泵、滑阀式真空泵、余摆线真空泵等。
2）液环真空泵
将带有多叶片的转子偏心装在泵壳内.当它旋转时,把工作液体抛向泵壳形成与泵壳同心的液环,液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小的旋转变容吸排气腔。工作液体通常为水或油,所以亦称为水环式真空泵或油环式真空泵。
3）干式真空泵
它是一种泵内不用油类(或液体)密封的变容真空泵。由于干式真空泵泵腔内不需要工作液体,因此,适用于半导体行业、化学工业、制药工业及食品行业等需要无油清洁真空环境的工艺场合。
4）罗茨真空泵
泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子。转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。

以上就是深圳等离子清洗机厂家纳恩科技关于，等离子清洗机不同类型机械真空泵原理及特点的简单介绍。等离子清洗机在系统应用的过程中，要注重对真空体积的估算，和所属行业特点，选择适宜的真空泵，防止出现真空泵不匹配的情况。