Langmuir静电探针法是对低压下等离子体进行诊断的最常用方法。NE-LPA型探针系统是NE-LP系列朗缪尔探针系统的单探针型号。NE-LP系列朗缪尔探针系统基于虚拟仪器原理设计，具有硬件结构简单、可靠性强、抗扰动能力强等优点。朗缪尔探针结构相对简单，可以获得多种等离子体参数(如电子温度、电子密度、等离子体电位、悬浮电位、电子能量分布函数等)，通过朗缪尔探针阵列可以获得等离子体的空间分布情况。
系统硬件构成 ：
NE-LPA型探针系统硬件由探针、驱动采集单元和计算机构成（图1）。其中，驱动采集单元一端通过USB接口与计算机连接，另一端有电缆与探针连接，其作用一是按照计算机的指令生成扫描信号，放大后为探针提供偏置，二是采集探针的电压电流值并输入计算机。
图一
产品特点：
1.便携式低功耗设计，USB供电，移动使用方便；
2.抗干扰能力强，工作稳定，特别适用于常见的等离子体放电不稳定和电磁干扰环境；
3.软件人机界面友好，参数设置灵活，自动化程度高；
4.支持时间分辨测量，可任意设置测量的时间分辨率和测量时间窗口，最高测量时间分辨率达12.5ns。
主要性能参数：
偏置电压(V)： -90-90，范围内任意可调，可扩展至+/-530V
扫描步长(V)：0.1—1 0.5， 范围内任意可调
采样率(ks/s)：250
采样数(每点)：1—2000，典型值500，范围内任意可调
测量时间分辨率:12.5ns,范围内任意可调
诊断功能及应用范围：
等离子体密度(cm-3)：106—1012 典型值109~1011
电子温度(eV)：可测
等离子体电位(V)：可测
悬浮电位(V)：可测
电子能量分布函数：可测
配置：
单探针组件、驱动采集单元、单探针软件、手动真空直线驱动器、替换用探针（10根普通探针）
朗缪尔探针法是最常用的低温等离子体诊断方法。由于其拥有结构简单以及辨别率优越的特点，使得其在科研与工业应用中得到了广泛的应用。其主要工作原理是：构件金属电极在工作时被插入到等离子体内部，通过对电极附近静电场与等离子体的相互作用而引起的电荷变化的分析，可以测量出等离子体的伏安特性曲线。然后通过分析伏安特性曲线可以清楚地得到等离子体内部的电子密度、电子能级分布、电势以及电位等特征参数。
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