等离子清洗机不发光不（启）辉光的可能原因及其解决办法

文章出处：等离子清洗机厂家 | 深圳纳恩科技有限公司| 发表时间：2022-10-10

辉光放电是放电等离子体中最常见的一种放电形式，同时辉光放电也是放电形式中放电最稳定的放电形式。等离子清洗机是在低气压下，反应气体在射频功率的激发下，产生电离并形成等离子体，等离子体是由带电的电子和离子组成，反应腔体中的气体在电子的撞击下，除了转变成离子外，还能吸收能量并形成大量的活性基团（Radicals）。

在使用等离子清洗机的过程中，客户可能会碰到设备不发光，或者无法启辉的情况出现。下面就为大家提供一些建议，在碰到等离子清洗机不发光时的自检思路与解决方法。

等离子清洗机无法起辉原因和处理措施：

（1）射频电源故障，检查射频源电源功率输出是否正常。
（2）反应气体进气量小，检查气体流量计是否正常。若正常，则加大进气量进行试验。
（3）腔体极板清洁度不够，用万用表测量腔体上下极板的对地电阻，正常值应在数十兆欧以上；若异常，则清洁腔体极板。
（4）匹配偏差太大，可以通过自动匹配进行调节。如不能进行自动调节，则可能是电机卡住，匹配电容变形，或者联轴器松动，需做故障相应维修。
（5）真空度太差，检查腔体真空度是否正常。

等离子清洗机辉光不稳

（1）电源电流不稳，测量电源供电是否稳定
（2）真空室压力不稳定，检查腔体真空系统漏率是否正常，检查腔体进气量是否正常。
（3）电缆故障，检查电缆接触是否良好。

以上就是国产等离子清洗机厂家纳恩科技，整理的关于等离子清洗机不辉光的可能原因及其对应解决办法。如果您也有以上问题，可以自行排查，也可以联系我们进行返厂维修。