真空等离子清洗机不同电极板（阴极阳极）上的清洗效果是否一样
文章出处：等离子清洗机厂家 | 深圳纳恩科技有限公司| 发表时间：2023-06-09
等离子体通常称作物质的第四种状态，前三种状态是固体、液体、气体，它们是比较常见的，存在于我们周围。离子体把固体转变成气体需要能量一样，产生离子体也需要能量。一定量的离子体是由带电粒子和中性粒子（包括原子、离子和自由粒子）混合组成。
当气体到达等离子状态时，气态分子会裂变成许多高度活跃的粒子。等离子清洗的机理正是依靠处于“等离子态”的物质的“活化作用”，达到去除物体表面污渍或改善表面活性的目的。
一般的真空等离子清洗机结构如图1所示。
从图1中可以看出，真空等离子清洗机主要由真空腔体、高频等离子电源、真空产生及测量系统、工艺气体系统、控制系统等部分组成。工作基本原理是利用真空泵将工作室进行抽真空到一定的真空度后，通入工艺气体，在高频发生器作用下，在阳极和阴极之间形成高频交变电场（常用频率有2种，即：40kHz、13.56MHz），将气体进行电离，形成等离子体。
等离子清洗机真空腔极板的设置具有很强的灵活性，腔体的每个电极都可以按需配置。将极板后面的连接头分别连接到阳极座、阴极座或空置，可以将极板分别配置成阳极、阴极或悬浮极，且各个极板间的距离可以根据工件大小和功率需要任意调节，能满足多种清洗需求。
等离子清洗机极板配置根据被处理样品放置在极板上位置不同，共有3种清洗模式。因此真空等离子清洗机不同极板上清洗效果也不一样。下面将详细介绍真空等离子清洗机不同极板的清洗模式。
悬浮极模式
将样品放置于悬浮极上，此时清洗速度最慢，同时因为未在任何电极板上，故对元器件的损伤也最小，适用于对易受电子损伤的敏感器件的清洗。
它的极板排列如图2所示，从上到下分别为阳极—悬浮极—阴极—阳极—悬浮极—阴极，3个极板为一组
图2 悬浮极模式
阴极模式
将样品放置于阴极上，此时清洗速度较快，同时因为未在阴极板上，阴极板实际上直接接地，相对电位较低，故对元器件的损伤也较小，适用于不易受电子损伤的器件进行较强的清洗。
该极板排列如图3所示，从上到下分别为阳极—阴极—阳极—阴极，2个极板为1组。
图3 阴极模式
阳极模式
将样品放置于阳极上，此时清洗速度最快，是最具侵蚀性的加工工艺，因为样品是直接置于阳极上，故对敏感元器件的损伤可能性最大，适用于对非敏感器件高强度的清洗。
该极板排列如图4所示，从上到下分别为阴极—阳极—阴极—阳极，2个极板为1组。
图4 阳极模式
在实际应用中，等离子清洗机需要根据不同的清洗需求来调节极板的功能及间距，同时调整气体种类及流量、腔体压力、射频功率及时间等，以达到最佳清洗效果。
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