等离子体清洗机不接（通）气可不可行？

文章出处：等离子清洗机厂家 | 深圳纳恩科技有限公司| 发表时间：2023-04-28

等离子体清洗机作为清洁、高效的改性设备，能在赋予材料表面优异性能的同时，提高材料的亲水性、吸附性、粘结性和生物相容性等方面的性能。并且不改变材料基体的整体性质，因此其在高分子材料表面改性中有着越来越广泛的应用前景。今天我们一起来聊聊等离子体清洗机不接气是否可行。

下文主要讨论真空等离子体清洗机，首先了解下大致来了解下真空等离子体清洗机的工作原理。

等离子体清洗机简单点说就是利用等离子体来进行清洗的设备，而等离子体产生方式也有很多种，主要有辐射、放电两类，最常见的为气体放电，真空等离子体清洗机（Plasmacleaner）的基本工作原理是指工作腔内通过机械泵抽至低真空，通入高纯度的反应气体，对气体施加足够的电压使其发生电离起辉形成的高能量的等离子体状态。

那么等离子体清洗机不接气是否可行，答案是可行的，因为等离子体的产生环境是低真空环境，低真空环境意味着真空腔体里面还是会有残留的气体存在，只要有气体存在，等离子体清洗机就能产生等离子体，也就能对材料表面进行清洗和活化。并且在实际应用中，我们很多客户也是不接气体的，单单依靠腔体残留的空气也能达到很好的处理效果。当然并不是所有工艺都适合不接气体，这个接不接气体，大家可以自行进行尝试，在能达到处理要求的前提下。因为工艺气体是影响等离子体清洗机清洗效果的一个重要影响因素，不同的工艺气体作用机理如下所示：

等离子体清洗机工艺气体的选择

工艺气体选择和清洗机理主要包括以下几种：
（1）氩气，氩气等离子清洗的机理是利用粒子动能产生的物理清洗效应。是纯物理作用、物理撞击可将表面高分子的键合打断，从而形成微结构粗糙面。如使用氩气利用正离子撞击方式使含C-H键的污染物脱离达到清洗效果。物理清洗方式是等离子溅射的一种轻微形式，溅射需要的输入能量比清洗要高。
（2）氧气，氧气等离子清洗主要是通过化学反应来清洗物质表面，通过氧化燃烧高分子聚合物和有机物，或者形成双键结构的官能团，可表面改性，并伴随一定的物理过程。
（3）氢气，是一种具有还原性作用的气体，可以还原被氧化的金属表层，并伴随一定的物理过程，它经常与氩气混合使用，从而提高去除速度。
（4）混合气体组合，既有物理清洗过程又有化学反应的过程，达到多功能的清洗效果。如：氩气和氢气混合气，借由物理撞击对表面的结构产生活化作用，并形成粗糙面增加结合力，键合工序前，采用此种清洗方式，可以增加焊点的结合力。

综上所述：等离子体清洗机是可以不接气进行使用的，只要有气体存在，就能产生等离子体，当然接不接气体，要看具体的运用场景，大部分场景都是需要接入反应气体的，这样能取得更好的清洗处理效果。