氧等离子清洗机不能辉（发）光产生等离子体的原因及解决办法

文章出处：等离子清洗机厂家 | 深圳纳恩科技有限公司| 发表时间：2023-02-17

氧等离子体清洗机的应用主要包括清洗、引线键合的改进，除渣，肿块粘连，剥离和蚀刻，在半导体工业和医用材料等领域有着广泛的应用。如图1.1所示，氧等离子体清洗机主要由真空泵、匹配器、放电腔体、电子操控平板四个部位构成。设备的气流有2个进气口，可以同时输入2种放电气体。

氧等离子清洗机

氧等离子体清洗机的基本结构及其工作原理

实验室产生等离子体的方式有很多种，从等离子体的性质来讲，产生等离子体的本质就是气体分子的电离。氧等离子体清洗机一般采用平行平板式电极结构也就是容性耦合等离子体放电产生等离子体（如图1.2所示）。

图1.2 CCP等离子体放电原理示意图

容性射频放电等离子体（CCP）

电容耦合射频放电是指放电的射频电源通过电容耦合的方式施加在极板两侧，使极板中间的气体电离产生等离子的放电方式。射频电源的工作频率在MHz量级，工业中一般用的射频电源的放电频率为13.56MHz。实验室一般用这种等离子体的产生方式来获得大面积均匀的等离子体，此类的设备的放电设置的基本结构主要由一组平行板电极组成，放电功率以电容耦合的方式加到其中的一个电极上或两个电极上，从而产生等离子体。

通过介绍氧等离子体清洗机的基本原理及其设备的基本结构。根据多年维修经验，分析总结了以下几点氧等离子体清洗机不能产生辉光的现象并给出了相应的解决方法。

氧等离子体清洗机不发光不产生等离子体的主要问题有以下几种情况：
（1）射频电源损坏。措施：检查射频电源输出信号、射频电缆、匹配网络，对故障点进行维修。
（2）真空问题。措施：检查各连接处的漏率，对漏率比较大的密封圈进行更换；检查真空泵组。
（3）压力过大或过低。措施：检查气源压力；检查压力阀；检查真空阀。

以上就是国产等离子清洗机厂家纳恩科技总结的关于氧等离子清洗机不能产生辉光原因及其对应解决办法的一些简单介绍，如果你也有碰到设备不产生辉光的现象，可以寄回来返厂维修，我们也可以提供上门维修服务。