等离子体的诊断方法

文章出处：等离子清洗机厂家 | 深圳纳恩科技有限公司| 发表时间：2022-09-21

等离子体又叫做电浆，是由部分电子被剥夺后的原子及原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气体状物质，它广泛存在于宇宙中，常被视为是除去固、液、气外，物质存在的第四态。

等离子体是物质的第四态，即电离了的“气体”，它呈现出高度激发的不稳定态，其中包括离子(具有不同符号和电荷)、电子、原子和分子。等离子体是由电子、离子等带电粒子以及中性粒子(原子、分子、微料等)组成的,宏观上呈现准中性,且具有集体效应的混合气体。

等离子体的状态可通过各种方法测定，通常有等离子体照相、分光法、光谱分析、质量分析法和电子探针法等。其中：

（1）等离子体照相利用等离子体自身发射的光(红外线、可见光、紫外线、X射线)来照相,可以得到发光区的宏观图像结构及其变化。

（2）分光法包括发光分光法和吸光光度法。用吸光光度法有可能对发光分光法不能测定的位于基态附近能态的原子团进行认定。

（3）光谱分析是等离子体诊断中应用最广泛的一种方法。利用长期以来物理学和化学实验所积累的对物质发光的光谱数据，结合理论分析，能确定等离子体的电子和离子温度、数密度、速度分布、成分等多种物理性质。

（4）质量分析法可以直接测定等离子体中的气体种类，特别是各种离子。通常用差压排气的方法将等离子体导入质谱仪中进行质量分析，能够对等离子体中的基团进行鉴定，还能与能量分析仪组合测定能量。

（5）直流辉光放电时采用电子探针法，高频放电或微波放电时采用双电子探针法。

（6）此外，气相电子顺磁共振（EPR）、激光诱导荧光法（LIF）、激光双共振谱（CARS）等新的等离子体诊断方法正在研究之中。用这些方法可以测定等离子体中的原子、分子及电子的状态。