plasma等离子清洗机温度是多少有多高？

文章出处：等离子清洗机厂家 | 深圳纳恩科技有限公司| 发表时间：2022-08-24

等离子体按温度分类，可以分为高温等离子体和低温等离子体两种；高温等离子体温度一般超过8910~10K，处于该状态的粒子有足够的条件相撞，达到了核聚变的条件，如太阳的核聚变、太阳风等都可以产生高温等离子体。低温等离子体又可以分为热等离子体和冷等离子体，热等离子体温度在2410~10K之间，它具有统一的热力学温度，即电子与重粒子温度基本相同，基本达到热力学平衡状态；冷等离子体的温度接近常温，其中重粒子温度基本处于常温下，而电子温度却高达104K以上，不处在热力学平衡状态。

低温plasma等离子清洗机是通过施加高能量电场，破坏气体原有的平衡状态，形成接近环境温度的低温等离子体。一般来说等离子清洗机的清洗温度并不高。我们常见的等离子清洗机分为两类，一类是真空等离子清洗机，和大气常压等离子清洗机。下面就介绍一下两种类型的等离子清洗机温度分别是多少。

一般来说真空plasma等离子清洗机的清洗温度要低于常压plasma等离子清洗机，等离子激发频率为13.56MHz的真空等离子清洗机,清洗温度为50~60℃。清洗温度会随清洗时间和清洗功率的增加逐渐升高。
激发频率为40KHz的真空plasma等离子清洗机电源功率一般都比较大，温度一般也比较高，清洗温度70~100℃。因此一般大型的中频真空等离子清洗机真空腔室都配有水冷电极托盘，防止清洗温度过高对产品造成损伤。

常压plasma等离子清洗机的正常清洗温度一般在70-80℃，常压等离子清洗机的清洗温度，跟清洗喷头的移动速度有很大关系，如果处理速度快，产品表面的温度就很低，如果一直对着一个点处理，处理温度就会逐渐上升，有可能对产品造成损伤。目前的话，常压等离子清洗机也开发出来了温度更低的款式，其正常工作时的温度在30℃左右。这对于一些对温度比较敏感的材料来说是非常有优势的。

一部分微电子集成电路器件工艺生产过程中，比如已封装芯片的摄像头组件，需要等离子清洗机进行表面处理增加活性和去除污染物，但是在辉光处理时，由于等离子体具有一定的温度，带电粒子的热运动，会对组件表面进行物理轰击和化学反应的双重作用，同时组件放置在电极托盘上(正负电极)充当了等离子电源的负载，也成为了正负电极。处理时间越长，金属电极托盘和工件皆有不同程度的升温。而这些材料特性在超过比如35℃时，会变形变色热损伤，导致工件废件。这种情况下，即使是射频等离子清洗机也应该配有水冷系统，防止温度过高，造成的热损失。

以上就是深圳等离子清洗机厂家纳恩科技整理的关于plasma等离子清洗机温度的一些资料，在等离子清洗中,被清洗件在离子的物理轰击作用下,温度会逐渐升高,温度通常与射频功率、频率、充气速率和清洗时间等相关。了解不同种类的plasma等离子清洗机温度是多少，可选择性地得到适宜的材料处理种类，并且不会对基材表面产生等离子损伤及热损伤。