等离子清洗机氩气和氧气的区别？哪种好？
文章出处：等离子清洗机厂家 | 深圳纳恩科技有限公司| 发表时间：2022-08-22
在等离子清洗过程中会使用不同的气体来进行清洗，其中最常见的两种工艺气体就是氩气和氧气了。很多不知道等离子清洗原理的人都喜欢问，用氧气和用氩气有什么区别，氧气和氩气哪种气体好。今天就这一个问题，作为生产等离子清洗机的厂家，有责任和义务为大家解答一下这个问题。
首先我们要了解等离子清洗机的工作原理，等离子清洗机是通过将各种气体掺入真空室体,将室内压力控制在设定的范围内,通过控制加载在真空室内高压极板间的电压,将气体电离,产生辉光放电,真空室内的高能等离子轰击工件,工件表面的分子激发、离解或电离,去除氧化物、水分和有机污物,增强衬底结合力。
等离子清洗机所用的气体大致上可以分为两种，一种是通过物理溅射来对材料表面进行清洗，另一种是靠化学反应来对材料表面进行清洗。
物理性气体等离子清洗
在真空状态下，高频电源的高压交变电场将氩气等惰性气体电离成高能量的等离子气体。活性粒子在偏压作用下被加速产生动能，设备射频系统的下电极接地，确保所有的高能电子不能穿越电极接触到工件表面，避免对敏感器件造成电子损伤。只有中性原子团下电极高速轰击工件表面，使污染物汽化，与工件剥离，随排气系统排出腔体外，产生清洗效果。由于是靠纯物理撞击方式剥离污染物，此方法适合对各类污染物进行去除。
等离子清洗原理示意图
反应性气体等离子清洗
在真空状态下，高频电源的高压交变电场将氧气、氢气等反应性气体电离成高能量和高反应性的等离子气体。这些高活性基团被吸附在工件表面，与表面污染物发生化学反应，生产其他气体并脱离工件表面，随排气系统排出。O2适合对助焊剂等有机类污染物进行处理，H2适合处理金属氧化物。
等离子清洗机氩气和氧气的区别
相信通过以上讲解，大家都对等离子清洗机所使用的气体有了一个大致了解，接下来对等离子清洗氩气和氧气的区别就很明了了，氩气属于惰性气体，一般在清洗中承担物理轰击的作用，氧气属于反应性气体，在清洗中承担着化学反应的作用。
等离子清洗机氩气和氧气哪种气体好
等离子清洗工艺中，氩气和氧气两种气体作用是不一样的，并没有说哪种气体好这种说法，对应不同的工艺要选择最适合它的气体，大部分情况下氧气和氩气是同时使用的，这样清洗效果会更快也更好。
采用等离子清洗工艺时应对等离子清洗原理有一个大致了解，这样在选择工艺气体时才不会无所适从，不知道选择哪种好。
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