微波等离子清洗机结构组成介绍

微波等离子清洗机总体结构分为五个部分：设备主体、真空系统、微波放电系统、控制系统和供气系统。其清洗过程是：在真空腔内压力到达一定范围时充入工艺气体,当腔内压力为动态平衡时，利用微波源振荡产生的高频交变电磁场将氧、氩、氢等工艺气体电离，生成等离子体，活性等离子体对被清洗物进行物理轰击与化学反应双重作用，使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质，经过抽真空排出，而达到清洗目的。