真空等离子清洗机真空泵的功能及选择介绍

文章出处：等离子清洗机厂家 | 深圳纳恩科技有限公司| 发表时间：2022-05-09

真空泵用于在等离子清洗机的接收器中生成真空。真空泵需在规定时间内将腔体真空度抽到适当值，并在腔体进气时维持腔体真空度的动态平衡。在等离子清洗技术中最常用的真空泵如下所述：

旋片式真空泵

旋片泵由一个外壳组成，外壳中的转子偏心转动。外壳内部具有弹簧加载型叶片，叶片顶住外壳内壁，并沿内壁滑动。被围在吸入侧的气体将被压缩，直至其超过环境压力，然后压力侧上的排气阀打开。旋片式真空泵在真空等离子清洗机上大多数用在小型腔体（80L以下）或者作为真空泵组的前级泵。

旋片式真空泵具有以下这些优点：
第一，旋片式真空泵在抽除腔体内的干燥气体的同时，也能抽除一定量的可凝性气体和气水混合物；
第二，结构相对简单，维护保养起来方便；
第三，体积小、重量较轻，便于安装移动；
第四，振动微小，噪音低；
第五，价钱相对低一些等。

干式真空泵

无油干式机械真空泵（又简称干式机械泵）是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。
为了使用腐蚀性气体 (CF4/O2,SF6,…)进行工作，泵经常与腐蚀性气体一起使用会限制其使用寿命。若经常在生产期间使用，我们则建议购买干运行泵，干运行泵适用于腐蚀性气体，
干运行泵的优点在于优化了生产燃料的消耗量。这些泵不需要进行预防性维护。（换油）

罗茨真空泵

旋片泵所产生的压力会受到限制。为了增强抽吸性能，建议将其与摇杆式活塞泵组合使用。它们将会组成一个所谓的泵站。典型组合如下所述：
1.第一个泵（例如：一个旋片泵）生成预真空。其被称为“前级泵”。
2.作为第二个泵，使用的是一个摇杆式活塞真空泵。

真空泵的选择

对于我们的标准等离子清洗机，可以考虑特殊旋片泵。泵越大，工艺时间就越短。可以根据腔室容积和所需的工艺时间自定义选择泵。有些处理产品会释放大量气体（例如：POM部件、硅橡胶或潮湿部件）。在这种情况下，建议使用性能更强的泵。

抽真空速度是决定一台真空等离子清洗机的工作效率的重要因素之一，抽真空速度的快慢主要是取决于真空泵。今天我们就来介绍一下等离子清洗机上所用到的几类真空泵组以及在选择真空泵组时的注意点。

真空泵组的选择

真空泵组是将2台或2台以上的真空泵组合在一起，形成一个串联的结构，能够大大加快抽真空的速度。在真空等离子清洗机上用到的真空泵组一般有三大类，一种是旋片式真空泵加上罗茨泵；另一种是干式真空泵+罗茨泵；最后一种是机械泵加上分子泵。

旋片式真空泵+罗茨泵
旋片式真空泵加上罗茨泵组成的泵组又可以称为油式泵组，这种泵组是我们真空等离子清洗机中常见的一种泵组，它是由旋片式真空泵作为底泵，外加罗茨泵作为次级泵组合而成的泵组。这类泵组一般运用于对洁净度要求不是很高且腔体较大的真空等离子清洗机上。

旋片式真空泵加上罗茨泵作为真空等离子清洗机中常见的一种泵组，其优点有很多：第1，能够大幅度加大抽速，减少抽真空的时间；第2，结构较为简单，维护方便；第3，性价比较高，具有价格优势。

干式螺杆真空泵+罗茨泵
干式螺杆真空泵加上罗茨泵组合成干式泵组，这种泵组是将干式螺杆真空泵作为底泵，罗茨泵作为次级泵组合成的泵组。因为都是由干式真空泵组合而成的，所以不会出现油污染，洁净度相较于油式泵组更高一些。干式泵组一般运用于生物医疗领域、半导体领域以及航天航空领域等洁净度要求较高的行业。

干式泵组作为一款性能优越的泵组，它的优点还真不少：第1，洁净度高，避免了油污染；第2，抽真空速度快，提高了工作效率；第3，工作时性能稳定，声音低；第4，对工作环境的要求低，能应对各种恶劣的工作环境。

机械泵+分子泵
机械泵加上分子泵就组成了一款特殊的泵组-分子泵组。使用分子泵组能够形成清洁的超高真空环境，所以分子泵组一般是运用在镀膜机、刻蚀机等对真空环境要求高的设备上。

分子泵组这么厉害，那它又有哪些优点呢？第1，分子泵组启动快，而且抽速非常快；第2，分子泵组是不使用油的，不会产生油污染；第3，维护简单。

等离子清洗机通过真空泵使等离子体腔体内变成真空环境，等离子体通过轰击表面污物,使其形成挥发性污物然后被真空泵排出,达到清洗的目的。等离子清洗时的压力与工艺气体的充入流量、真空室漏率和真空泵的有效抽速相关，等离子清洗机真空泵的选取对于等离子清洗效果有很大影响。