真空等离子清洗机主要结构组成

文章出处：等离子清洗机厂家 | 深圳纳恩科技有限公司| 发表时间：2022-05-05

真空等离子清洗机一般使用传统的电容耦合式等离子清洗机结构，即内平行极板。系统由三大部分组成包括真空系统、放电系统和控制系统。其中放电系统由放电腔体、平行极板、工件支座和电源及匹配网络组成，真空系统由真空泵、充气系统、密封件、阀门、压强感应器组成，真空泵抽取真空并维持反应室内气压平衡，压强感应器测量反应时的压强。反应腔体要求反应室真空密封同时具备辐射防护。充气系统由气管、流量计和阀门组成，目的是定量向反应室充入反应气体。电源使用的是固态射频电源，具有高可靠性和稳定性、高效的功率输出、体积小、重量轻、完善的保护功能可实现过温、反射功率保护。控制系统可实现电源输出功率、放电时间、气路开关的控制。

等离子清洗机主要结构组成

反应仓
采用平板式结构,利于等离子体均匀分布。

射频电源
等离子体发生器的选择与其频率的选择是确保等离子质量和过程灵活性的两个最重要的参数。对于清洗中的应用,射频发生器的频率是标准,它确定能否很好的将气体激发为等离子态。13.56MHz是最常用的频率。与射频发生器相关联的还有匹配网络,如果阻抗负载不能精确调节,射频发生器将会被损坏,这是由于承受波的反馈的原因。匹配性的调节在获得好的清洗效果中是必要的。合适的匹配系统与高品质的射频发生器将会自动调节负载阻抗,甚至当清洗的条件与操作都发生变化的情况下也能做到。这保证了最佳的等离子体密度和可重复性。

真空系统
等离子体系统内的压力受几个因素的影响,其中最重要的一个原因是真空泵。在任何给定的真空系统,最大真空度会被真空泵的能力所限制。典型情况下压力在10～100Pa。

供气系统
在等离子体过程中为了保证最大的重复性,需要一些控制气体流量的装置,尤其是对反应气体。典型情况为:流量在0～200SCCM。

控制系统
采用带有触摸屏人机界面的PLC来控制等离子体电源的各项参数以及各个输入输出设备,优点在于人机界面友好、灵活性高、稳定可靠,减少人为产生的失误。同时便于在不断的工艺实验过程中通过软件来持续提升设备性能。对于工艺管理使用配方方式,方便于各个参数的输入与管理。

真空等离子清洗机的结构一般由电器控制及操作系统、真空腔室、供气系统、射频电源、真空泵、等组成。等离子清洗技术是利用等离子体中各粒子的能量，通过化学或物理方式作用于物体表面，改善物体表面状态的工艺过程。