低温低压等离子清洗机工作原理及清洗原理

低压等离子清洗机主要由四个部分组成，包括：气体供给系统、真空系统、放电腔室和等离子体电源。将待处理物放置在放电环境放电腔室中，抽真空后低气压下产生的等离子体是一种低温等离子体，气体温度大约在几十到二三百摄氏度，远低于电子温度，但又具有少量足够高能的粒子，有足够的能量处理固体表面，在一定使用范围内也不会损伤基体。