真空等离子清洗系统介绍及其示意图

文章出处：等离子清洗机厂家 | 深圳纳恩科技有限公司| 发表时间：2022-11-02

真空等离子清洗机也被称作等离子表面处理仪，其原理是机器对气体（如氮气）施加足够大能量使之成为等离子状态，利用等离子体中活性粒子（电子、离子、活性基团等）的活化作用来起到清除被清洗物质外表杂质的目的。这种清洗方法能进入到物体的细小孔眼和凹陷的里边完成清洗工作，可以不用去担心被清洗物质的外形，而且清洗的效果十分显著。

真空等离子清洗系统结构：

真空等离子清洗系统包括真空腔体、真空系统、射频电源及匹配系统、充气系统、控制系统等。真空等离子清洗系统的设备总体结构如下所示：

真空等离子清洗系统各部分结构示意图
1、触摸屏 2、控制按钮 3、等离子体发生器 4、机柜 5、真空腔体 6、真空计 7、电极板 8、馈电组件 9、真空电磁阀 10、流量计 11、电极板架 12、放气阀 13、真空泵

真空腔体是真空等离子清洗系统关键结构部分,等离子体的产生,材料的清洗处理均在该腔体中完成。低温等离子体是在一定真空度的状态下产生的,这就要求真空腔体具有密封性,同时考虑到整个设备的重量,一般真空腔体采用铝合金焊接成型，也可以采用不锈钢焊接成型。

低温等离子体是在电极板之间放电产生的,因此,在真空腔体中设计了极板组件,待处理的材料存放在极板上,如图所示：

真空等离子清洗系统电极组件

真空系统由真空泵组、真空腔体、真空计、真空电磁阀及真空管路组成，真空电磁阀控制真空泵组的开启及真空腔体与大气的联通与封闭。真空系统是真空等离子清洗系统的核心部分，试样在真空腔体中进行集中处理，真空泵组负责将真空腔体抽到一定真空度;

电源系统由电源、匹配系统，放电极板等组成，利用放电极板进行高频放电，使腔体内产生等离子体，自动阻抗匹配器，与射频电源配合使用，自动匹配器内部安装可调电容器，电机调整，当负载变化时，快速自动调整，达到等效匹配，提高输出效率。

充气系统由截止阀和质量流量控制器组成,充气管路可根据工艺要求设计,分别接不同的气体,根据不同的被清洗材料可以选择O,H2,Ar2等。清洗过程中,要保持真空室内一-定的真空度,并且要动态平衡稳定,这样产生的等离子体才能稳定,并且气体不断置换,可使反应时产生的废气及时排出,避免污染。

控制系统采用可编程逻辑控制器(Programma-bleLogicControl，PLC)和人机系列触摸屏进行联合控制，可通过对触摸屏的点击操作控制真空等离子清洗系统的运作。控制系统实现全工艺过程的自动控制,实现自动预抽、自动充气、自动平衡、产生等离子体、清洗等步骤。

上述真空等离子清洗系统使用传统的电容耦合式等离子清洗机结构，即内平行极板。系统主要由三大部分组成包括真空系统、放电系统和控制系统，主要用于材料的表面清洗活化改性等场合。