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等离子鞘层

等离子鞘层是等离子体的重要特征，表征了等离子的电位分布和静电场效应。以电容耦合式等离子为例，带电粒子（电子、离子）在电场作用下向基板运动，由于电子质量轻、移动速度快，一部分电子到达基板后，与正离子结合成气体分子，剩下的部分在基板附近形成了负电荷区，负电荷区吸引正离子，排斥电子，当正离子和电子移动的速度相同后，在基板附近就形成了一定区域的负电位，称之为“等离子鞘层”。