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阻抗匹配网络

阻抗匹配网络是施加在射频电源和放电发生器之间的一种电路中常见装置，阻抗匹配的目的是为了保护振荡器。在射频放电电路中为了使负载达到最大功率，需要负载电阻与传输线相等，而为了得到最大功率输出则需要射频源阻抗与传输线的阻抗相等，通过阻抗匹配网络能够实现负载到传输线再到射频源的阻抗匹配。

假设电源等效阻抗为（即输出阻抗）（a+bi）Ω，为了实现最大的电源功率输出，就需要满足负载阻抗与电源阻抗共轭匹配。即负载阻抗R=（a-bi）Ω。在现实生活中通常采用的射频源频率为13.56MHz，阻抗为50Ω，所以需要通过阻抗匹配将负载阻抗R=（a-bi）Ω，a=50，b=0。

有多种方式能够实线阻抗的匹配，其中应用最为广泛、技术最为成熟的是采用电感与电容元器件串并联组合的方法。而根据其连接方式的区别又可以分为τ形、π形和T形三种类型。其中τ形为两元件，π形和T形是三元件。

在反应之初由于放电腔室气压、流量等参数的变化会造成阻抗匹配失调，电源的输出电压施加在负载上，会造成反射功率过大，功率转换效率低，大部分能量反射回电源内部变成热量损耗，容易造成电源的损坏，因此需要调节匹配网络的阻抗，使匹配网络与负载的阻抗最终等于50Ω。这个时候电源阻抗与负载阻抗相匹配，反射功率最小，同时电源的输出功率转化效率达到最大，有利于保护整个电路的安全同时保证设备的处理能力达到最好。