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等离子体射流放电

等离子体射流放电的装置结构如图1-1所示。当交流高压电源以几kHz，数kV输出时，在棒状电极末端，距离金属喷嘴最近的地方易形成极高电场，出现尖端放电；工作气体在这个区域被交流高压电源充分电离，产生等离子体；并随着工作气体的不断涌入，等离子体被吹出喷嘴，形成一段距离有限且发光的等离子体射流，伴随嘶嘶声。

图1-1 等离子体射流放电

为了防止在筒状外壳内部出现电弧放电，等离子体射流放电的气体压力一般控制在一个标准大气压以上，使等离子体被迅速吹出，不足以积累成电弧；同时气体压力也不能过高，否则电离的等离子体无法形成等离子体射流。

等离子体射流放电实现放电空间与使用空间的隔绝，即在腔体内部放电电离，而在腔体外部形成射流用于处理材料。这种结构保证安全性，也极大方便了实际使用，通过改变喷嘴的结构，可以形成阵列等离子体射流、旋转等离子体射流等形式。