什么是等离子体

等离子体被称为“物质的第四态”。我们通常认知和接触的物质状态有三种：气态、液态和固态，同一种物质所含能量不同时，会在三种状态之间相互转换，最低能量状态是固态，固态吸收能量转化成液态，液态吸收能量转化成气态，气态是三个状态中能量最高的。气态物质吸收更多的能量，就会产生物质的第四态，也就是等离子体。等离子体呈电中性，由电子、离子、光子和中性粒子组成，其中电子和正离子的数量基本相等，但等离子体并是稳定的物质状态，当使其电离的能量消失，各种粒子会重新结合，形成原来的气态分子。

等离子体具有很多独特的物理、化学性质。第一，由于内部集聚了大量的带电粒子，具有类似金属的导电功能；第二，温度高，粒子动能大；第三，由于其内部发生复杂的激发、退激发过程，具有独特的发光特性；第四，内部富含大量的活性物种，容易发生化学反应。
 
等离子体分为高温等离子体和低温等离子体，其中低温等离子体在工业中应用广泛。低温等离子体中存在着大量种类繁多的活性粒子，它们比通常的化学反应所产生的活性粒子活性更强、种类更多，这些活性粒子很容易和材料表面发生反应，因此常被用来对材料表面进行清洗或改性。等离子清洗是低温等离子体的主要应用之一，属于干法清洗范畴。等离子体有很多种产生方式，例如气体放电、光电离、激光等，不同的产生方式，等离子体的能量、密度等性质也不同，根据其不同性质在工业中应用于清洗、刻蚀、材料表面改性等。就等离子清洗应用而言，气体放电是最常用的方式。